Специалисты НОЦ «Нанотехнологии» получили экспериментальные образцы транзисторов, созданных по новой технологии

Фото: storage.tusur.ru

На новом участке научно-образовательного центра (НОЦ) «Нанотехнологии» Томского госуниверситета систем управления и радиоэлектроники проводится опытно-технологическая работа по созданию собственной технологии c использованием высокопроизводительной фотолитографии – базового технологического процесса для изготовления интегральной схемы с заданными характеристиками.

На новом участке научно-образовательного центра (НОЦ) «Нанотехнологии» Томского госуниверситета систем управления и радиоэлектроники проводится опытно-технологическая работа по созданию собственной технологии c использованием высокопроизводительной фотолитографии – базового технологического процесса для изготовления интегральной схемы с заданными характеристиками.

Полученные таким образом интегральные схемы будут использоваться АО «НПФ "Микран"» в создании оборудования для авионики, систем радиолокации и связи. Новая технология позволит увеличить точность и производительность работы в несколько десятков раз.

Монолитная интегральная схема на основе арсенида галлия (GaAs МИС) – одна из важных составляющих электронной компонентной базы. Новая технология позволяет мультиплицировать элементы интегральной схемы с помощью фотошаблона на полупроводниковую пластину на специальной установке проекционной фотолитографии.

«В случае электронно-лучевой литографии, которой занимаются специалисты функционирующего уже несколько лет участка в НОЦ, электронный луч «рисует» каждый элемент схемы по всей пластине. Процесс создания рисунка на одной пластине может занять сутки, – пояснил директор НОЦ «Нанотехнологии» ТУСУРа Дмитрий Зыков. – Технология проекционной фотолитографии является высокопроизводительной и позволяет за несколько десятков секунд «зарисовать» всю площадь пластины».

Отработка технологии в настоящее время ведётся на новом участке НОЦ «Нанотехнологии». В 2016 году для этих целей сюда поступила специальная установка. Как пояснили в центре, готовых решений для такого оборудования нет, поэтому перед специалистами стоит задача научиться «рисовать» на ней, настроить все необходимые параметры и задать программу работы.

Дмитрий Зыков, директор НОЦ «Нанотехнологии»

Особенность в том, что здесь фотошаблон содержит более крупный по размеру чип или небольшую группу чипов, которые проецируются на полупроводниковую пластину с уменьшением масштаба в 5 раз. В новую установку можно загрузить несколько фотошаблонов разных слоёв топологии МИС, она их спроецирует на одну пластину по заданной программе, автоматически совмещая слои между собой, таким образом, повышается точность взаимного расположения элементов МИС. Засветка одного чипа занимает доли секунды. Это даёт увеличение производительности.

Ещё один плюс собственной технологии – в её управляемости, возможности настройки под определённые необходимые задачи.

В настоящее время специалисты НОЦ «Нанотехнологии» создают опытные образцы элементов интегральных схем.

По словам директора НОЦ «Нанотехнологии», в настоящее время работы находятся на стадии изготовления тестового транзистора – основного активного элемента интегральной схемы, определяющего её параметры. Экспериментальные образцы таких транзисторов уже получены.

Источник: пресс-служба ТУСУРа
 
По теме
Образование: стратегический подход О том, какие инновационные формы и методы внедряются в программу подготовки будущих сотрудников полицейского ведомства,
16.07.2018
 
В Ленинском районе г.Томска к лишению свободы осужден лже-адвокат за мошенничество под видом получения адвокатских гонораров - Прокуратура Томской области Ленинский районный суд г.Томска признал ранее судимого 30-летнего жителя областного центра виновным в совершении преступления, предусмотренного ч.2 ст.159 УК РФ (мошенничество с причинением значительного ущерба гражданину).
16.07.2018 Прокуратура Томской области
В Каргасокском районе Томской области вынесен обвинительный приговор местному жителю, поджегшему баню родного брата - Прокуратура Томской области Каргасокский районный суд Томской области признал 30-летнего местного жителя виновным в совершении преступления, предусмотренного ч.3 ст.30, ч.2 ст.167 УК РФ (покушение на умышленное уничтожение чужого имущества путем поджога,
16.07.2018 Прокуратура Томской области
В неполные 38 лет Михаил Ш. обзавелся длинным «хвостом» из девяти судимостей.
10.07.2018 Красное знамя
1491990364_thumb_main - САН Томск Представители епархии обратились в Томский государственный архитектурно-строительный университет (ТГАСУ) с просьбой выявить причины возникновения вибрации при звучании колокола на звоннице Свято-Воскресенской церкви.
16.07.2018 САН Томск
Открыт прием заявок на участие в V Всероссийском творческом фестивале «Верим в село! Гордимся Россией!» - Департамент по молодежной политике, физической культуре и спорту Пятый год Российский союз сельской молодежи при поддержке Министерства сельского хозяйства Российской Федерации проводит Всероссийский творческий фестиваль «Верим в село!
16.07.2018 Департамент по молодежной политике, физической культуре и спорту
О выставке к 70-тилетию Рафаэля Асланяна в Томском областном художественном музее Многие слышали о знаменитейшем армянском художнике Мартироосе Сергеевиче Сарьяне.
09.07.2018 Томская неделя
«Видимо, я учитель по призванию. Всегда чувствовал, что прожил день не зря, если читал в этот день лекцию», — говорит о себе почетный работник высшей школы, ветеран ТГУ Владимир Георгиевич Иванов.
04.07.2018 Красное знамя
Сегодня одна из главных партий его жизненного спектакля, если говорить на языке оперы, — ария директора Томского музыкального колледжа имени Эдисона Денисова.
02.07.2018 Красное знамя
На нижней террасе Лагерного сада началось благоустройство в рамках федеральной программы «Формирование комфортной городской среды» - Администрация г.Томск Компания-подрядчик - ООО «ГОЛДЕН СТРОЙ» - приступила к демонтажу трибун. Большие экраны, которые использовались для трансляции матчей чемпионата мира по футболу - 2018, демонтированы и переданы управлению культуры Томска.
16.07.2018 Администрация г.Томск
Большие футбольные страсти близки к развязке, чемпионат мира скоро останется позади.
16.07.2018 Красное знамя
В Томске три раза в неделю на стадионе «Победа» будут проходить  бесплатные массовые тренировки по фитнесу, кроссфиту, стритворкауту и легкой атлетике, сообщают организаторы проекта «Здравый смысл».
29.06.2018 Красное знамя
Маршрут Всемирной факельной эстафеты пройдет по нашей области с 30 июня по 5 июля.
22.06.2018 Красное знамя
На нижней террасе Лагерного сада началось благоустройство в рамках федеральной программы «Формирование комфортной городской среды» - Администрация г.Томск Компания-подрядчик - ООО «ГОЛДЕН СТРОЙ» - приступила к демонтажу трибун. Большие экраны, которые использовались для трансляции матчей чемпионата мира по футболу - 2018, демонтированы и переданы управлению культуры Томска.
16.07.2018 Администрация г.Томск